麥克風(fēng)是一種可以將聲音信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的傳感器。MEMS麥克風(fēng)一般由MEMS芯片、ASIC芯片（專(zhuān)用集成電路）、聲腔、RF抗干擾電路等組成，長(zhǎng)度小至毫米級(jí)。
MEMS麥克風(fēng)憑借其低噪聲、低耗電、防水、抗塵、可承受回流焊接等特性，廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、醫(yī)療設(shè)備、智能制造等領(lǐng)域，在智能語(yǔ)音交互、噪聲控制、聲源定位等功能上發(fā)揮著關(guān)鍵作用，為設(shè)備制造商提供了音頻解決方案。

濾波器是射頻系統(tǒng)中的重要元器件。在通訊市場(chǎng)，信號(hào)之間的干擾問(wèn)題需要濾波器進(jìn)行解決，且在發(fā)射及接收通路中都需要使用，直接影響各頻段信號(hào)通信質(zhì)量。BAW濾波器（體聲波濾波器）在高頻應(yīng)用場(chǎng)景有著更佳的表現(xiàn)。
在5G及更高頻通信時(shí)代，憑借高頻率和寬頻帶的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，BAW濾波器可以提供更低的插入損耗，更好的選擇性，更高的功率容量，更大的運(yùn)行頻率，更好的靜電放電保護(hù)。BAW濾波器主要包括FBAR（Film Bulk Acoustic Filter，薄膜體聲波濾波器）和SMR（Solidly Mounted Filter，緊固型體聲波濾波器）兩種類(lèi)型，前者濾波能力強(qiáng)，后者導(dǎo)熱能力強(qiáng)。

MEMS微振鏡（也稱(chēng)“微鏡”、“掃描鏡”）屬于光學(xué)MEMS器件，可通過(guò)電信號(hào)驅(qū)動(dòng)微機(jī)械結(jié)構(gòu)，對(duì)光束進(jìn)行精準(zhǔn)偏轉(zhuǎn)、調(diào)制、開(kāi)啟閉合及相位控制，具備極高的響應(yīng)速度。MEMS微振鏡的驅(qū)動(dòng)方式包括靜電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)和電熱驅(qū)動(dòng)。
MEMS微振鏡是激光光束操縱的核心元器件，通過(guò)半導(dǎo)體制造工藝進(jìn)行集成化生產(chǎn)，能夠減少激光雷達(dá)、激光顯示、通訊設(shè)備的體積和成本，并提高其精度。近年來(lái)，隨著智能化、電動(dòng)化、網(wǎng)聯(lián)化的加速發(fā)展，汽車(chē)傳感器市場(chǎng)持續(xù)擴(kuò)大，基于半導(dǎo)體制造工藝生產(chǎn)的先進(jìn)傳感器正在擴(kuò)大應(yīng)用。

MEMS加速度計(jì)是測(cè)量物體加速度信息的元器件，由相應(yīng)的MEMS芯片、ASIC芯片及懸掛在彈簧上的慣性質(zhì)量封裝組成，已經(jīng)廣泛用于導(dǎo)航定位、姿態(tài)感知、狀態(tài)監(jiān)測(cè)、平臺(tái)穩(wěn)定等領(lǐng)域。
在外部施加的加速度的作用下，MEMS加速度計(jì)利用慣性質(zhì)量發(fā)生位移時(shí)的相對(duì)位置，將加速度的變化轉(zhuǎn)換為電容的變化量，最終通過(guò)專(zhuān)用集成電路獲得電容值的變化，得到物體運(yùn)動(dòng)的加速度值。根據(jù)傳感機(jī)制的不同，MEMS加速度計(jì)可分為壓阻式、電容式、壓電式、隧道電流式。

MEMS陀螺儀是測(cè)量角速度的一種器件，一般由支撐框架、諧振質(zhì)量塊及激勵(lì)和測(cè)量單元組成，主要用于導(dǎo)航定位、姿態(tài)感知、狀態(tài)監(jiān)測(cè)、平臺(tái)穩(wěn)定等應(yīng)用領(lǐng)域，是慣性系統(tǒng)的重要組成部分。
MEMS陀螺儀利用科里奧利力原理測(cè)量角速度（旋轉(zhuǎn)體系中進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的質(zhì)點(diǎn)由于慣性產(chǎn)生偏移，導(dǎo)致偏移產(chǎn)生的“虛擬”力被稱(chēng)為科里奧利力），具有成本低、體積小、重量輕、可靠性高、可數(shù)字化及可重復(fù)大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。

MEMS-IMU基于MEMS工藝技術(shù)制造，具有體積小、重量輕、能耗低等特點(diǎn)，以微小形態(tài)采集運(yùn)動(dòng)載體的加速度與角速度等慣性信息，可實(shí)時(shí)輸出高精度的三維位置、速度、姿態(tài)等信息，并用于姿態(tài)平衡控制、導(dǎo)航定位、動(dòng)作執(zhí)行等環(huán)節(jié)。
由于通過(guò)半導(dǎo)體工藝進(jìn)行生產(chǎn)制造，MEMS-IMU 往往還可以集成多種MEMS 慣性傳感器的功能，同時(shí)具備極好的環(huán)境適應(yīng)性。通過(guò)組合加速度計(jì)和陀螺儀，MEMS-IMU 可以檢測(cè)到三維方向的位移和轉(zhuǎn)動(dòng)，包括速度、方向、位移等參數(shù)，這些數(shù)據(jù)組成了完整的物體運(yùn)動(dòng)軌跡。

MEMS壓力傳感器通過(guò)微型機(jī)械結(jié)構(gòu)與電子電路的結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力變化的敏感監(jiān)測(cè)和精確轉(zhuǎn)換。與傳統(tǒng)的基于金屬?gòu)椥泽w變形的壓力傳感器相比，MEMS 壓力傳感器具有更小的尺寸和能耗，響應(yīng)速度更快，應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。
MEMS壓力傳感器主要包括壓阻式、電容式和壓電式。壓阻式傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)在于其對(duì)細(xì)微壓力變化的高度靈敏度，使其能夠進(jìn)行精細(xì)的觸覺(jué)感知。電容式傳感器的主要優(yōu)勢(shì)在于本身的穩(wěn)定性和抗干擾能力。

生物傳感器是測(cè)量生物成分的傳感器，待檢測(cè)的分析物通過(guò)與附著在芯片上的生物分子（如某些酶、抗體以及其他類(lèi)型的蛋白質(zhì)）發(fā)生作用，改變傳感器中的電流模式，從而被檢測(cè)出來(lái)。
MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級(jí)別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復(fù)雜功能集成內(nèi)置在芯片中，實(shí)現(xiàn)生物芯片的高靈敏度、高準(zhǔn)確性、微創(chuàng)應(yīng)用及低成本、大批量生產(chǎn)。

紅外傳感器是對(duì)外界紅外輻射產(chǎn)生響應(yīng)的關(guān)鍵部件，不受照明條件影響且穿透能力強(qiáng),在全黑夜間、雨霧天氣以及遠(yuǎn)光燈照射等人眼能見(jiàn)度較低的情況下都有很好的效果。
利用MEMS技術(shù)集成紅外發(fā)射源和探測(cè)器，具有集成度高，精度高，功耗低，響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)探測(cè)機(jī)理的不同，紅外傳感器可分為光子紅外傳感器和熱式紅外傳感器兩大類(lèi)，熱式紅外傳感器可以在室溫環(huán)境下工作，且對(duì)各種波長(zhǎng)的紅外輻射都有響應(yīng)。MEMS紅外傳感芯片的結(jié)構(gòu)主要為多梁支撐的膜結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)可減小器件的熱傳導(dǎo)，達(dá)到隔熱的目的。

隨著數(shù)據(jù)中心、云計(jì)算、5G/6G網(wǎng)絡(luò)等領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展，光通信系統(tǒng)的速度、能耗和靈活性面臨著前所未有的挑戰(zhàn)。利用MEMS技術(shù)制作的微型光器件以其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì)和高度集成特性，正在成為推動(dòng)光網(wǎng)絡(luò)技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵力量。
MEMS硅光芯片采用硅為主要材料，具有插入損耗小，光路間相互串?dāng)_極低，對(duì)光的波長(zhǎng)和偏振不敏感等特點(diǎn)，并且重量輕、體積小、集成化、成本低，擁有廣闊的應(yīng)用市場(chǎng)，包括光通信領(lǐng)域的光開(kāi)關(guān)（OCS）、調(diào)制器、探測(cè)器、波分復(fù)用器、解復(fù)用器、偏振器、耦合器；光柵、光顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、自適應(yīng)光學(xué)；光學(xué)傳感中的加速度計(jì)、壓力傳感器等多個(gè)方面。